HEPA używana przez wydajny wylot powietrza wykorzystuje wysokowydajny, olejoodporny element filtrujący marki krajowej H14, za pośrednictwem krajowej zaawansowanej linii montażowej origami w produkcji i instalacji w pomieszczeniach czystych, skuteczność filtracji ≥0,3um, kurz ≥99,99% ( metoda pułapki sodowej), aby zapewnić czystość czystego stołu do ISO5 (FEDERAL 209E100).
Port wykrywania DOP/różnicy ciśnień, zbiornik cieczy, zawór powietrza z regulacją w dół, dyfuzor, wir i inna płyta dyfuzora.Wszystko.