Le HEPA utilisé par la sortie d'air efficace adopte l'élément filtrant résistant à l'huile de haute performance et à faible résistance de marque nationale H14, via la chaîne de montage d'origami avancée nationale dans la production et l'installation en salle blanche, efficacité de filtration ≥0,3 um, poussière ≥99,99 % ( méthode piège à sodium), pour garantir que la propreté de la table propre jusqu'à ISO5 (FÉDÉRAL 209E100).
Port de détection de pression DOP/différentielle, réservoir de liquide, vanne d'air régulée vers le bas, diffuseur, tourbillon et autre plaque de diffusion.Tout.